LCOS投影系统
LCOS投影系统为紫外曝光机光路系统，从LED灯珠发出的光，经整形光路后入射到LCOS表面，然后通过投影系统在投影目标面成像。通过改变LCOS的图案，在投影目标面可以获得不同的图案。可应用在光刻机的曝光模块中。
LCOS投影系统为紫外曝光机光路系统，从LED灯珠发出的光，经整形光路后入射到LCOS表面，然后通过投影系统在投影目标面成像。通过改变LCOS的图案，在投影目标面可以获得不同的图案。可应用在光刻机的曝光模块中。