垂直定向模块
用途：光刻机投影物镜（405nm）
物方和像方远心角：≤0.05°
放大率：1X
分辨率： ≤2 um
MTF：≥0.5@250lp/mm
成像视场：Φ20mm
数值孔径：0.17
畸变：1.5e-8
用途：光刻机投影物镜（405nm）
物方和像方远心角：≤0.05°
放大率：1X
分辨率： ≤2 um
MTF：≥0.5@250lp/mm
成像视场：Φ20mm
数值孔径：0.17
畸变：1.5e-8